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信然喷油/干式螺杆真空泵技术
结构简单合理，零件种类、数量少，维护方便。比传统真空泵节能明显。
螺杆转子
转子型线啮合均匀，密封性好，抽气效率高；
转子作G1级动平衡实验，泵运行震动小。
精湛的设计与制造
排气路径短，减少制程物沉积；
采用密封式结构，避免了因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象。
精湛的设计与制造
转子作G1级动平衡实验，泵运行震动小
结构简单合理，零件种类、数量少，维护方便。比传统真空泵节能明显。
转子型线啮合均匀，密封性好，抽气效率高；
转子作G1级动平衡实验，泵运行震动小。
排气路径短，减少制程物沉积；
采用密封式结构，避免了因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象。
转子作G1级动平衡实验，泵运行震动小
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